真空旋转涂膜机在选购时需要注意哪些因素？
点击次数：475 更新时间：2021-08-04
真空旋转涂膜机即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
针对目前旋转涂膜机市场品牌众多，良莠不齐现象，笔者结合自己多年从事旋转涂膜机技术服务的实际经验。帮助广大用户提高辨别能力，为用户提供了直观明确的选择标准。
从其原理来说，我们可以看出选购真空旋转涂膜机需要注意的几个细节“
1、 旋转速度：转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些旋转涂膜机只能提供转速范围，并不能**标定实时的转速。进口的旋转涂膜机虽然大部分能标定转速，但是大部分转速精度没有国际标准认定。建议购买转速控制方面有国际认定标准的，比如：美国NIST标准等。
2、 真空吸附系统的构造
真空泵一定要无油的，压力标定准确，国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成*堵塞。用过国产旋转涂膜机的客户常常会关心怎么清洗的问题，这一点许多国外的旋转涂膜机做得不错，他们有通过联动机制，如果真空吸附力不够的时候，不会开始旋转。
3、 材质的选择
对于半导体化工行业的应用来说，材质的选择尤为关键，大部分旋转涂膜机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美国等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。
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