科晶真空旋转涂膜机

产品概述：

VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

主要特点：

• 真空吸附方式固定样件，操作简便。
• 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。
• 根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。
• 设有12组程序，每组包含6个运行阶段。
• 电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
• 50W/24V 直流电机
• 适于在Ar气环境中工作（真空泵放置在手套箱外）

参数：

• 电机功率：50W/24V
• 速度范围：500-10000rpm
• 程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段
• 增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s
• 时间范围：0-60s
• 吸盘：Φ19mm、Φ60mm

进气口：上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体，实现在气氛环境下旋转涂覆

可选加热部分：上盖内部增加红外灯管加热，采用K型热偶测温，数字温控器控温，*高120℃，可使得样品涂覆后原位烘干，用于薄膜太阳能电池等研究。

产品规格：

• 尺寸：450mm×280mm×340mm；
• 重量：20kg