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合肥科晶 900℃小型RTP炉

简要描述:

合肥科晶 900℃小型RTP炉
售后服务:
1、我司承诺所销售产品全部为原厂原装正品。
2、本产品全国联保,质保期:1年质保(消耗品除外);
3、质保期内如有产品质量问题,免费维修;质保期外长期提供技术支持,不收维修费,只酌情收取基本配件费及相关费用;
4、所有产品售后问题,请直接联系我司,我司售后服务团队会在24h内响应处理。

更新时间:2020-01-13

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合肥科晶 900℃小型RTP炉

产品概述:

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。

主要特点:

·快速升温,达50℃/s;快速降温,大117℃/min。

·超大管径φ110mm。

·温度可达900℃。

·法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。

·开门断电。

合肥科晶 900℃小型RTP炉 基本参数:

·工作温度:900℃(<10min);800℃(<30min);600℃(长期)

·升温速率:室温~800℃: 50 ℃/s,800℃~900℃: 10℃/s

·降温速率:60℃/min (<200 mtorr),117℃/min (在一个大气压下)

·法兰:KF-25D型不锈钢高真空法兰

·慢降温速率10℃/min

·加热区长度:190mm

·控温精度:+/-1℃(欧陆表型温控仪表可达0.1℃)

·加热元件:8根红外灯管(每根1.5KW,图1、2、3)

·热电偶:可插入式的铠装热电偶,进口K型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下

·大功率:12KW(>60A 保险)

·设备电源:AC220V/50HZ 单相 

·循环水流量:0.5 m3/h

·标配流量计量程范围:16-160 ml/min

尺寸:

·760(L)×330(W)×530(H) mm (法兰关闭)

·1200(L)×330(W)×530(H) mm (法兰打开)

重量:70Kg

认证:所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

 

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