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更新时间:2020-01-06
合肥科晶 EQ-TM106膜厚监测仪
产品概述:
EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。
合肥科晶 EQ-TM106膜厚监测仪
EQ-TM106-1监测组件:
EQ-TM106-2显示仪:
EQ-TM106-3探头:
压缩空气压力:烘烤温度:通水状态<200℃,不通水状态法兰<100℃
电气接口:BCN插座
标准配件:1EQ-TM106-1监测组件1个2EQ-TM106-2显示仪1台3EQ-TM106-3探头1个