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首页>产品中心>材料物性分析>合肥科晶>GSL-1700X-EV4合肥科晶程序控温型四坩埚蒸发镀膜仪

合肥科晶程序控温型四坩埚蒸发镀膜仪

简要描述:

合肥科晶程序控温型四坩埚蒸发镀膜仪
售后服务:
1、我司承诺所销售产品全部为原厂原装正品。
2、本产品全国联保,质保期:1年质保(消耗品除外);
3、质保期内如有产品质量问题,免费维修;质保期外长期提供技术支持,不收维修费,只酌情收取基本配件费及相关费用;
4、所有产品售后问题,请直接联系我司,我司售后服务团队会在24h内响应处理。

更新时间:2020-01-13

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合肥科晶程序控温型四坩埚蒸发镀膜仪   GSL-1700X-EV4

产品概述:

GSL-1700X-EV4是一款小型温控型蒸发镀膜仪,内部设有4个蒸发坩埚,且每个蒸发坩埚都带有挡板,多可放置4种不同的蒸发物料,可在同一气氛下依次镀膜,实现多层膜的沉积工艺。可程序控温,控温范围200-1500℃(选用B型热电偶:1200℃-1700℃),样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

产品结构:

  • 石英真空腔体:280mm OD×260mm ID×310mm H,易清洗和放入样品 
  • 安装有一个2英寸的样品台,并且样品台可以旋转,使所制薄膜达到更好的均匀性 
  • 采用钨丝篮作为发热源,高温度可达到1700℃,并且配用氧化铝舟,可装入样品(仅1600℃以下使用,若蒸发温度大于1600℃,样品应直接放在钨丝篮中) 
  • 精确控温:可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1℃ 
  • 真空度:10-5Torr(如采用分子泵系统) 
  • 进气系统可实现腔体的清洗和反应蒸发镀膜

合肥科晶程序控温型四坩埚蒸发镀膜仪

工作电源:

  • 电压:AC220V,50/60Hz,单相 
  • 功率:1200W,大电流为30A
  • 4蒸发坩埚,每个容积为3mL。四坩埚可依次进行蒸发,实现多层膜沉积工艺(不能同时蒸发) 
  • 采用钨丝篮作为发热源,并且配有的氧化铝坩埚,热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制
  • 标准采用S型热偶:工作温度为200℃-1500℃ 
  • 可选B型热电偶:工作温度为1200℃-1700℃ 
  • 安装有一个数显的温度控制器:可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1ºC
  • 也可将仪器转换到手动调节接状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度可高达2000℃,可实现对样品镀碳等实验
  • 仪器中配备4个蒸发坩埚,每个坩埚均配有2个钨丝蓝加热元件

样品台:

  • 仪器顶部安装有样品台,直径为Φ50mm 
  • 样品台可旋转 
  • 样品台和蒸发源之间的距离可以调节,调节范围为:40mm-85mm

样品厚度监测(可选):

  • 腔室内可安装精密的薄膜测厚仪,可点击图1&图2查看详情。测厚精度可达0.10 Å。测厚仪LED显示可实现:根据数据库,输入涂层信息;显示镀膜总厚度以及镀膜速度;可选购反射光谱薄膜测厚仪--TFMS-LD,用于薄膜厚度的检测

真空系统(选配):

设备上有一KF25接口用于连接真空泵 

• 高真空度可达4.0E-6 Torr(采用涡旋分子泵) 

• 双极旋片真空泵或干泵,可使仪器真空腔体的真空度达到10-2Torr 

• 真空度达到10-2torr时,可蒸发一些贵金属,如金和铂,也可蒸发一些有机材料,可选购数显防腐真空计PCG-554(测量范围3.8x10-5 to 1125 Torr.) 

• 高真空度可达4.0E-6 Torr(采用涡旋分子泵),此时可蒸发对氧敏感的材料,如Al. Mg, Li,分子泵上带有复合真空计(可测量真空度为1.0E-7Torr) 

• 可在本公司选购各种真空泵和真空计

进气口:

  • 进气接口为1/4NPS,可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜 
  • 进气口安装有一针阀,用于调节进气流量

耗材:氧化铝坩埚以及钨丝蓝

产品尺寸:

  • 总体尺寸:550mm L×550mm W×750mm H 
  • 石英腔体尺寸:280mm OD×260mm ID×310mm H

质量认证:CE认证

产品质量:80kg

应用注意事项:

  • 为了获得高真空度,可采用以下做法
    (1)使用前要检查密封圈和法兰上是否有异物或划痕,并用酒精擦洗
    (2)抽真空时,用外部加热装置将腔体烘烤到200℃,氧化铝坩埚预加热到500℃,保持2小时 
  • 使用温度高于1300℃时,保温时间不可大于1小时,否则会损坏密封圈 
  • 当腔体的各阀门关闭时,请勿开启升温程序或手动调节电流进行加热 
  • 当仪器正在蒸发材料时,不可打开泄气阀或关闭真空泵,只有当加热温度降至100℃时,才可放气或关闭真空泵

 

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